お問い合わせはこちら

SERVICE
事業案内

概要

蛍光X線分析とは、試料表面にX線を照射することにより、励起された軌道上の電子が外部にたたき出され、その空位に、より外側の軌道にある電子が遷移するときに放出する固有X線(蛍光X線)を分析する手法です。
固有X線の波長(エネルギー)は、励起される元素に特有で、その波長(エネルギー)から定性分析、強度から定量分析が行えます。

仕様

蛍光X線装置の写真

表1 装置概要
使用機器 ㈱島津製作所製 EDX-8000
測定項目 定性定量(FP法)、異物分析、スクリーニング分析
試料室 試料サイズ 250 mm×300 mm×100 mm程度
(試料室が閉まる大きさ)
大気雰囲気 測定範囲:15P~92U
制限事項:15P以下の軽元素は真空雰囲気下での測定を推奨
真空雰囲気 測定範囲:9F~92U
制限事項:真空下で気化する成分を含む試料は測定不可
     試料容器を用いる粉末等は20Ca以下の軽元素は感度低下
測定径 φ0.3 mm、φ1 mm、φ3 mm、φ10 mm
深さ
(参考)
金属は数十 μm、軽元素(樹脂)試料なら数 mmからの蛍光X線を測定
※正確にはマトリックスと元素種で異なる。
検出下限
(参考)
0.01 %~数 %
マトリックスや測定元素により変化、軽元素は低感度

測定例

測定例

測定例1

概要:フィルム中に含まれる異物について、測定範囲φ10 mmでは異物成分が不明瞭でしたが、
   測定範囲をφ0.3 mmに絞ることで異物成分(Al、Cr、Fe)が明瞭に検出されました。

測定例2

概要:名刺の青印字について元素分析を行いました。青印字部分からはトナー由来と
   推定される3元素(Si、Ti、Cu)が検出されました。